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極大規模集成電路制造裝備及成套工藝國家科技重大專項2014年度項目申報
關鍵詞： 項目申報書 制造裝備 產學研用 量子 產業聯盟 高校 gaohuadong sevenstar cn 專項
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二、項目（課題）的主要研究內容、任務分解，以及經費預算的需求、測算方法、測算依據等相關說明
1、研究任務一
2、研究任務二
3、研究任務三
4、研究任務四
5、研究任務五 |
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三、其他來源經費說明（需說明經費的來源、落實和到位情況、用途，并附相關的證明材料）
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